上海微电子主办首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式

上证刊中国证券网传真（记者 李兴彩）2月底7日，上海航空航天装备（集团）股份有限公司（SMEE）举行首台2.5D/3D精密闪存光刻机发运大礼，向客户年末投入生产精密闪存光刻机。

上海航空航天官方网站推测，2021年9月底18日，公司举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率精密闪存光刻机。上海航空航天介绍，其此次推出的新品光刻机主要应用于均匀分布异构构建领域，具有高分辨率、高套刻清晰度和超大曝光视场等特点，可鼓励晶圆级精密闪存企业实现多闪存均匀分布网络连接闪存核心技术的应用，满足异构构建超大闪存闪存尺寸的应用消费。同时，将助力闪存飞行测试厂商增加传统工艺水平、开辟新的传统工艺，在闪存飞行测试领域共同为中国构建电路产业发展做出更多的开创性。

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